核心指标均达国际一线标准!BSL超净PFA管验证数据公布

近日,超净产品制造厂商BSL(保视丽)正式公布其超净PFA管最新验证数据。结果显示,在金属离子析出与颗粒物析出等核心洁净指标上,BSL超净PFA管历经多轮验证,性能稳定优异,关键指标均达到国际一线水平,满足先进制程要求。

超净PFA管是半导体湿制程中超纯水与化学品输送的关键部件,直接应用于晶圆各工艺场景。金属离子与颗粒物的微量析出,都可能污染晶圆、推高缺陷率、拉低良率。正因如此,这两项指标被视为衡量管路洁净性能的“硬门槛”,而先进制程对洁净性能的要求则愈发严苛。

在金属离子析出验证测试中,BSL实验室模拟37% HCl溶液、85℃恒温、持续7天静态浸泡的极端测试工况。结果显示,Na、Al、Fe等关键离子析出量远低于同类国际品牌产品。超净树脂原料与高温熔融挤出工艺协同作用,从生产源头抑制杂质引入,为先进芯片制造构筑起一道洁净防线。

同时,在以超纯水(UPW)循环冲洗的颗粒物测试中,超净PFA管颗粒数显著低于国际一线产品,尤其在≥0.2μm的关键粒径段,颗粒数几乎为零。借助自主工艺技术,BSL超净PFA管实现了更低的表面粗糙度(Ra值),使内壁更加光滑,从物理根源上减少颗粒的停留与吸附。

除洁净度外,BSL超净PFA管的表面粗糙度、爆破压力、抗拉强度、屈服强度等指标均表现优异,洁净性能与力学可靠性兼得,可稳定适配严苛工况。

BSL深耕超净耗材领域,对半导体制造各类应用场景有着深入理解,可根据客户的特殊工况需求,灵活定制管材的尺寸规格、定切长度及连接方式,针对性解决复杂应用场景难题,提供专属的系统配套方案。

随着先进制程不断演进,高纯输送管路的洁净门槛持续抬升,BSL始终以创新产品力赋能半导体先进制造。目前,超净PFA管产品已稳定应用于半导体先进制程设备、高纯化学品输送工程项目等领域。

   
编辑:司马穰苴

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